日本SMC縫閥材質(zhì)說明XGT221-46236-1A

XGT 系列 縫閥

●對于半導體裝置等場合、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合

閥尺寸 22 軸數(shù):2軸　波紋管;對應晶片尺寸:200mm

閥體形式 1 無盒式

開口窗尺寸 46236 高X寬:46X236mm;對應晶片尺寸:200mm

門O型圈材質(zhì) 1 FKM

磁性開關(guān)及插頭 A 磁性開關(guān):D-A93(帶2個開關(guān));插頭:導線:0.5m(無插頭)

相關(guān)型號

D-M9BL

Y300-A

AFM30-02-A

VT325V-035G/DC24V

IL100-02

IL220-02

G36-2-01

G36-10-01

Y300-A

AFM30-02-A

AS3201F-03-08SA

CXSM15-20

CXSM10-30

ZH10BSA-06-06

AS1201F-M5-06A

VF3130-5DUD1-02

AR20-02BE-B

MDBB80-50Z-M9BL

MY1B32-800Z-M9PL

CDG1BN32-300Z-M9BW

SY9120-5DD-03

AW30-N02BG-2-B

ZH15DSA-08-10-10

MY1M50-600

ZH13BS-08-10

CD85N16-50-A

SY7120-5LZD-02

MGQM12-20

MXS16-50

RBC2015

CQ2B32-5DZ

MGQM25-50

C85F16

MXS16-20

D-M9PSDPC

3C-D-C73L

AS2201F-01-10SA

AKH10-00

AKH08-00

AKH06-00

VSA4140-04

VSA4140-06

VPA742-1-04A

RDQA80TF-75M-M9BL

ZM103H-K5LZ

AW40-04-A

AW30-02BG-A

VFRA4111-041Q1-59D

VNA201A-10A

3C-D-Z73

日本SMC縫閥材質(zhì)說明XGT221-46236-1A