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焊型，是以往體積的30%。
實現(xiàn)了行業(yè)首屈一指的小型化。壓力的變化而引起的調(diào)節(jié)、誤檢情形。
電子零組件孔檢查
離子化器的吹掃氣體確認(rèn)
汽車等
各種泄露檢查
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管理
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理接氣體的管理
吹掃氣體的流量管理與壓力感測器不相上下的高速應(yīng)答（應(yīng)答由管線的內(nèi)容積、壓力等決定）
②由于是通過流量探測的，因此不存在因
吸附確認(rèn)
與壓力感測器相比較（噴嘴直徑
③可以探測出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。
④通過流量探測，可以有效管理傾斜吸附等吸附錯誤。
機(jī)械制造通過采用了硅微細(xì)加工技術(shù)白金感測器小片，實現(xiàn)了高速應(yīng)答。
有助于縮短間隔時間通過按鈕操作或者外部輸入，可以自動獲取開關(guān)輸出的設(shè)定值。
完全避免了繁瑣的設(shè)定過流量量程為500、1000 L/min這兩個類
有助于設(shè)備的小型化、輕量針利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別，此 處置的流量量程大。
內(nèi)嵌速控器型（特別訂購品）可以
輕松對流量進(jìn)行控制。
半導(dǎo)體為Ф0.3、真空壓力為-70k
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