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使用真空發生器的回路中的換向閥，有供給閥和真空破壞閥。使用真空泵回路中的換向閥，有真空切換閥和真空選擇閥。
供給閥是供給真空發生器壓縮空氣的閥。
真空破壞閥是破壞吸盤內的真空狀態，將真空變成大氣壓或正壓力，使工件脫離吸盤的閥。真空切換閥就是接通或斷開真空壓力源的閥。真空選擇閥可控制吸盤對工件的吸著或脫離，一個閥兩個功能，可以簡化回路設計。
供給閥印設置于正壓管路中，可選用一般換向閥。真空破壞閥，真空切換閥和真空選擇閥設置于真空回路或存在有真空狀態的回路中，故必須選用能在真空壓力條件下工作的換向閥。真空換向閥要求不泄露，且不用油霧潤滑。故使用座閥式和膜片式閥芯結構比較。通徑大時可使用外部先導式電磁閥。不給油潤滑的軟質密封滑閥，由于其通用性強，也常作為真空用換向閥使用。
| 換向閥系列 Y：功率型 R：外部先導型 V：真空型 | 供給閥 | 破壞閥 | 切換閥 | 選擇閥 | 有效截面積 | 連接口徑 | ||||||||
| 標準型 | 外部先導型 | 真空型 | 標準型 | 外部先導型 | 真空型 | 標準型 | 外部先導型 | 真空型 | 標準型 | 外部先導型 | 真空型 | |||
| SY100 | ○ | ○ | ○ | ○ | 0.14 | M3×0.5 | ||||||||
| SYJ300R/500R/700R | ○ | ○ | ○ | ○ | 2~14 | M3×0.5 M5×0.8 Rc1/8 Rc1/4 | ||||||||
| VZ100 | ○ | ○ | ○ | ○ | 0.6 | M5×0.8 | ||||||||
| VX31、32、33 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 1.4~9 | Rc1/8~Rc3/8 | ||||||
| VK330 | ○ | ○ | 2.7~4.2 | M5×0.8 Rc1/8 | ||||||||||
| VK330V | ○ | ○ | ||||||||||||
| VX2 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 3~43 | ||||||||
| VT301、315 325、307、317 | ○ | ○ | 2.3~27 | Rc1/8~Rc3/8 | ||||||||||
| VT301V、315V 325V、307V、317V | ○ | ○ | ||||||||||||
| VP300R、500R、700R | ○ | ○ | ○ | ○ | 16.2~72 | |||||||||
| VS311□ | ○ | ○ | ○ | ○ | 19.8~81 | Rc1/8~Rc3/4 | ||||||||
| VEX3□□□ | ○ | ○ | ○ | 25~670 | Rc1/8~Rc2 | |||||||||
| VEX3□□1 | ○ | |||||||||||||
| VP31□5 | ○ | ○ | 90~670 | Rc3/8~Rc2 | ||||||||||
| VP31□5V | ○ | ○ | ||||||||||||
| VG342R | ○ | ○ | ○ | ○ | 140~235 | Rc1/2~Rc1 | ||||||||
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