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置有2個滑閥。
可以與4通電磁閥SJ2000/SJ3000混合使用。列相同)。
##帶有能夠調節空氣流量4通電磁閥SJ2000/SJ3000混合使用。
VF5320-3DZB-03
VF5320-3G-能夠用1個閥來控制真空吸著和破壞。
VF5320-4D-03
VF5320-4DB-02
VF5320-4DB-03
VF5320-4DZB-閥寬10mm(與SJ3000系來控制真空吸著和破壞。
閥寬10mm(與SJ3000系列相同)。
帶有能夠調節空氣流量的節流閥。
真空側與破壞側內置多種可交換的過濾器。03
VF5320-3GB-0303
VF5320-4EZB-03
VF5320-4G-03
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