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smc平穩出氣閥XVD2-02V
保持旋轉的初始供氣調節螺母r以右側，小可能
初始空氣供給流量是在該點銘牌和調整
螺母標記對齊接近的地方扭矩感受。 （注意不要
收緊初始空氣供應調節螺母4進一步過這一點上，
因為這可能會導致部件損壞。）
確認初始空氣供應調節螺母r的位置之后
和初始空氣供給刻度板！7的角度對準刻度，
通過旋轉螺母向左調整初始空氣供給量。據
以“轉數和流動特性”作為
示出，設置初始空氣供給流動。通過擰緊設置，鎖定后
初始空氣供給鎖螺絲！50.5 N·cm的扭矩。
閥門/針型閥集成建設 - 需要以
前只有1/4的管道空間模型。
通過切換到主閥電路，主閥門
打開，全量被引入到室中。
用平頭螺絲刀輕輕轉動初始供氣鎖
螺絲！5要左側，放松它，直到它停止。
顆粒顯著減少通過使用一個金屬膜片的板部分
雙方初的送風氣流和主供氣能進行調整。
返回時，引入一次性全部供給壓力
（清潔的空氣/ N2）的全部金額
在真空室中的氣氛會引起微粒就可以進入
室。為了防止這種情況，以后慢慢
引入的初始空氣供給和設置
的壓力，切換到主閥回路供給的全部金額。
在初始狀態下，所述子閥打開和設
置金額（針閥）緩慢供給入腔室。
通過在片材部分使用金屬膜片的微粒顯著降
的兩個初始空氣供應和主空氣供給量可以調節。
省空間閥門/針型閥集成建設 - 要求
只有1/4的管道空間以前的型號。
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